美國(guó)Malema 流量控制器 LFC-7002-21321-212-M16

LFC-7000系列高性能閉環(huán)流量控制器設(shè)計(jì)用于各種液體，包括去離子水，苛刻的化學(xué)品，和CMP拋光漿料。

用于高精度控制超純化學(xué)品的典型模塊將Malema超聲波流量計(jì)與Malema控制閥結(jié)合在一起，其精度額定讀數(shù)為 +/- 1%。超聲波流量計(jì)有一個(gè)沒有移動(dòng)部件或密封全PFA結(jié)構(gòu)。它為流量測(cè)量的準(zhǔn)確性，可重復(fù)性和純度設(shè)定了標(biāo)準(zhǔn)。其數(shù)字信號(hào)處理技術(shù)確保可靠的性能，即使在一定程度的氣泡存在于過程流體。高速/精密電機(jī)驅(qū)動(dòng)夾管閥 (用于漿料) 或隔膜閥 (用于化學(xué)品) 有助于提供快速和精確的響應(yīng)，并具有最小的 “過沖”。它的所有PTFE (聚四氟乙烯) 結(jié)構(gòu)和最小的死體積確保最大的過程純度和可靠性 (化學(xué)模塊)。