CIAT是專注于工業(yè)精密傳動(dòng)與智能定位系統(tǒng)的德國(guó)技術(shù)企業(yè)，成立于1978年，總部位于慕尼黑，致力于為半導(dǎo)體制造、航空航天及高端機(jī)床領(lǐng)域提供高精度直線電機(jī)、納米級(jí)定位平臺(tái)及定制化解決方案。產(chǎn)品以亞微米級(jí)定位精度、抗干擾能力與工業(yè)級(jí)壽命為核心優(yōu)勢(shì)，廣泛應(yīng)用于晶圓光刻機(jī)定位、航天器姿態(tài)校準(zhǔn)及精密光學(xué)檢測(cè)設(shè)備場(chǎng)景。

核心產(chǎn)品系列：  

工業(yè)精密傳動(dòng)系統(tǒng)  

- CIAT-Linear系列直線電機(jī)：適配半導(dǎo)體晶圓傳輸與激光切割設(shè)備，推力范圍50-2000 N，定位精度±50 nm，重復(fù)定位精度±20 nm，支持閉環(huán)控制與動(dòng)態(tài)補(bǔ)償，通過(guò)ISO 230-2機(jī)床精度標(biāo)準(zhǔn)，防護(hù)等級(jí)IP65。  

- CIAT-Rotary系列空心杯電機(jī)：用于光學(xué)儀器旋轉(zhuǎn)臺(tái)與醫(yī)療設(shè)備驅(qū)動(dòng)，轉(zhuǎn)速0-5000 RPM，扭矩波動(dòng)≤0.1%，慣性矩優(yōu)化設(shè)計(jì)，通過(guò)MIL-STD-810G振動(dòng)測(cè)試，支持真空環(huán)境（10^-6 Torr）運(yùn)行。  

智能定位解決方案  

- CIAT-Stage系列納米定位平臺(tái)：集成六自由度運(yùn)動(dòng)控制，行程范圍50-500 mm，定位分辨率0.1 nm，熱漂移率≤0.1 μm/°C，配備激光干涉儀實(shí)時(shí)反饋，通過(guò)SEMATECH半導(dǎo)體設(shè)備認(rèn)證。  

- CIAT-Controller系列運(yùn)動(dòng)控制卡：支持多軸同步插補(bǔ)與自適應(yīng)PID算法，采樣頻率1 MHz，兼容EtherCAT/PROFINET協(xié)議，通過(guò)CE/FCC電磁兼容認(rèn)證，提供LabVIEW/Python開發(fā)接口。  

熱銷工業(yè)型號(hào)：  

- CIAT-Linear L8000：晶圓光刻機(jī)曝光臺(tái)驅(qū)動(dòng)電機(jī)，峰值加速度20g，動(dòng)態(tài)響應(yīng)時(shí)間≤1 ms，內(nèi)置溫度補(bǔ)償模塊，通過(guò)SEMI S2標(biāo)準(zhǔn)，防護(hù)等級(jí)IP67。  

- CIAT-Stage NS600：航天器光學(xué)組件校準(zhǔn)平臺(tái)，三維定位精度±100 nm，支持主動(dòng)隔振（降噪≥60 dB），通過(guò)NASA Goddard振動(dòng)測(cè)試，配備真空兼容密封結(jié)構(gòu)。  

- CIAT-Controller C400：多軸納米級(jí)運(yùn)動(dòng)控制器，支持16軸同步控制，插補(bǔ)誤差≤0.1 μm，配備硬件級(jí)緊急制動(dòng)功能，通過(guò)ISO 13849安全標(biāo)準(zhǔn)。  

技術(shù)優(yōu)勢(shì)：  

- 超低慣性設(shè)計(jì)：直線電機(jī)采用輕量化磁路結(jié)構(gòu)，慣性降低40%，加速性能提升30%。  

- 多物理場(chǎng)耦合補(bǔ)償：定位平臺(tái)內(nèi)置熱-機(jī)械耦合模型，環(huán)境溫度變化補(bǔ)償精度達(dá)±0.01 μm。  

- 協(xié)議無(wú)縫集成：控制器支持OPC UA與MTConnect工業(yè)物聯(lián)網(wǎng)協(xié)議，可對(duì)接MES/SCADA系統(tǒng)。  

應(yīng)用領(lǐng)域：  

- 半導(dǎo)體制造：晶圓缺陷檢測(cè)設(shè)備定位、光刻機(jī)曝光臺(tái)驅(qū)動(dòng)。  

- 航空航天：衛(wèi)星光學(xué)鏡頭校準(zhǔn)、火箭發(fā)動(dòng)機(jī)噴嘴精密裝配。  

- 精密檢測(cè)：納米級(jí)3D形貌測(cè)量?jī)x、X射線衍射儀樣品臺(tái)。  

CIAT通過(guò)德普瑞商城提供全球化供應(yīng)鏈服務(wù)，支持在線技術(shù)選型、定制化傳動(dòng)系統(tǒng)設(shè)計(jì)及48小時(shí)緊急交付，確保工業(yè)客戶在高精度運(yùn)動(dòng)控制場(chǎng)景中快速部署納米級(jí)定位與智能傳動(dòng)解決方案。